中国刻蚀机之父:AI可能是个泡沫 10月12日在第26届工博会主论坛上,中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧指出AI可能会出现泡沫,并预测中国半导体设备行业未来几年必然迎来整合。他分析认为,国内企业数量过多且实力分散,需改变“散兵游勇”式发展。同时,尹志尧披露中微公司计划未来三至五年累计开发100种细分设备,研发总投入130亿元。